真空泵的使用:
真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。由于每種真空泵都有它的極限真空度,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。若設備嚴格要求無油時,應該選擇各種無油泵,如:無油真空泵、水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油的旋片真空泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:SKA型水環(huán)式真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
小型真空泵指的就是微型真空泵,因為體積小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵(即小型真空泵)是指:具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個,并且在進口處能夠持續(xù)形成真空或負壓;排氣嘴處形成微正壓;工作介質主要為氣體,體積小巧的一種儀器。
旋片真空泵的真空度不達標,可由外漏,內漏,油孔梗塞,泵油質量不良或凈化蛻變,有水汽等可凝性物質,儀器儀表失真,泵運轉不正常等引起。
外漏較多時,排氣口可看到白色蒸汽,我們常稱為冒煙。油標處有較多氣泡,手在排氣口上可感到排氣壓力,低級排氣閥處油面有較多氣泡,功率會有所添加,這時,首先應檢查氣鎮(zhèn)閥是否已關好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力,所以如有外漏景象,應對泵口及管道,閥門,容器逐一檢查。外軸封無效,油標無油,油孔悶頭漏氣也可形成外漏。